介绍了某半导体制造项目净化空调系统中FFU送风方式,并与传统集中送风方式相比,分析其优缺点。该送风方式已在微电子工业洁净厂房得到越来越多的应用。
FFU送风方式在净化空调系统中的应用——本稿件为FFU送风方式在净化空调系统中的应用。 提要：本文介绍了某半导体制造项目净化空调系统中F F U 送风方式，并分析它与传统集中送风方式相比的优缺点。
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