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更新时间:2025.03.08
用幕墙玻璃镀膜生产线大面积制备ITO膜

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通过对幕墙镀膜生产线的改造,用矩形平面磁控溅射靶大面积生产氧化铟锡(ITO)膜,并对其主要工艺参数介绍了一些浅显的看法。

DCML型大平面磁控连续幕墙玻璃镀膜机

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本设备采用二级计算机全自动控制,本机分为自动上板段清洗段,磁控镀膜真空室段,自动测量段及自动装卸段组成。镀膜段又分成8个真空室,6个磁控靶组成,可以进行三种膜系

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