TEGAL421 等离子刻蚀机射频电源的维 修及调整 TEGAL421 等离子刻蚀机射频电源的电路图如下： 各部分电路的作用， DC Power Supply Board 板是一块电源板提供射频源 工作所需的各路电源，包括电子管工作的高低压。 OSICLACTOR Board 板提供 射频源的激励信号， Q1是震荡管，Q4是推动管，Q3,Q2组成脉宽功率调节电路。 V1和 V2是两个输出电子管，提供所需的射频功率。其中 Lv 是低压变压器，机 器一通电，该变压器就被通电。而 BV 是高压变压器，只有在需要射频输出时才 被通电。 Power Coupler 是入射功率和反射功率检测模块。主机背面的电位器 R5 和 R6 用于矫正入射和反射功率的偏差。 Test Port 测试端口用于检测射频电 源的工作参数。 射频电源的调整 射频电源调整的步骤如下： 1. 关闭交流电源。 2. 移除射频电源
目的 探讨1-溴丙烷职业接触人群尿中总溴的测定方法.方法 经1％稀硝酸稀释后的尿样直接进入电感耦合等离子质谱仪（ICP-MS）中检测,标准曲线定量.结果 尿中总溴含量的线性范围为0.005～1.000 mg/L,线性相关系数r＞0.999;当添加浓度为0.020、0.050和0.150 mg/L时回收率为95％～98％,批内精密度为1.4％～3.2％,连续3天测定批间精密度为3.4％～5.0％;尿中总溴可在-20℃冰箱中放置3个月以上不损失.结论 使用ICP-MS方法测定尿中总溴具有快速,准确,线性范围宽的特点,方法各项指标均符合GBZ/T 210.5-2008《职业卫生标准制定指南第5部分：生物材料中化学物质测定方法》的要求,适于推广应用.
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