目的对某大规模集成电路工程进行职业病危害控制效果评价。方法采用现场职业卫生学调查、工作场所职业病危害因素检测、作业人员劳动条件分级和职业健康检查相结合的方法。结果某大规模集成电路工程的选址、总体布局、设备布局、职业病防护设施、个人防护用品、职业卫生管理及卫生辅助设置等符合《中华人民共和国职业病防治法》等法律法规要求;该项目生产过程中产生的各种毒物的浓度均符合国家卫生标准的要求,但噪声危害有不同程度超标,部分工作场所的照度和微小气候不符合国家有关标准。结论综合评价分析表明,某大规模集成电路工程的职业病危害控制措施可行、有效,但需进一步完善隔声降噪措施,且需要改善部分工作场所环境中的照度和微小气候。
以Synopsys推出的TCAD软件TSUPREM-Ⅳ和Medici为蓝本,结合100nm栅长PMOSFET的可制造性联机仿真与优化实例,阐述了超大规模集成电路DFM阶段所进行的工艺级、器件物理特性级优化及工艺参数的提取。
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