研究了以氮化铝为基板的倒扣封装的工艺。详细比较了氮化铝的各种金属化工艺。分别研究化学镀与激光诱导淀积实现金属化的方法。测量表明两种方法制备的金属层与氮化铝的粘附力均大于 10 MPa。同时对这两种方法的特点与适用范围进行概述
铝合金材料硬度和强度低,当型腔较深时加工过程中易发生粘刀和断刀现象。十字型筋板薄而长,型腔内壁多处是倒扣面,加工中又极易产生变形。文中针对该薄壁倒扣零件的特点,用高端CAM软件UGNX7.5对其加工思路和工艺的编制进行了详细的分析,并运用多轴(五轴)加工对倒扣面实行了粗加工和精加工,保证了零件尺寸精度和表面粗糙度。
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