PD380B管式 PECVD 1 蝶阀与挡板阀的拆装 图一 PE主机台 1.炉管降温 在工控机操作界面中,将炉管温度由原来的 450°设置为 200°。 2.真空泵的吹扫 2.1抽真空;将反应压力设为 0,关掉 N2输入,打开预抽,当压力小 于 500时,关掉预抽,打开主抽,直到管内为真空状态(压力小于 40mtorr); 2.2设置 N2输入为 8000,反应压力为 1700mtorr; 2.3将真空泵的 N2稀释阀调到最大约 84.4pam3/S;吹扫至少进行 20min。 真空泵 真空管路 PD380B管式 PECVD 2 图二 真空泵 3.关真空泵 3.1点操作面板的 stop,选择关闭真空泵(并非延时关闭) ; 3.2拉下真空泵的黑色电源开关,并且将真空泵的冷却水关掉,保持 真空泵的 N2为打开状态。 4.工具的准备 一套开口扳手(主要使用 7mm、12mm、13mm、1
首页 >>产品中心 >>真空挡板阀类 >>GDQ系列气动高真空挡板阀 GDQ系列气动高真空挡板阀 (又称角阀 )是用压缩空气为动力,通过电磁换向阀改变气路方向,推动气缸活塞上下运动,带动阀杆上下运动,使阀板开启或关闭, 从而达到在真空系统中接通或切断气流的目的。 GDQ-J型为角通型式, GDQ-S型为带预抽口的三通型式。适用的工作介质为空气及非腐蚀性气体。 主要技术性能 适用范围 (Pa) 105~1.3x10-4 阀门漏率 (Pa.L/S) ≤1.3x10-6 介质温度(℃) -25~+80(密封材料为丁腈橡胶 ) -30~+150(密封材料为氟橡胶 ) 气源压力 (MPa) 0.4~0.8 安装位置 DN<300任意 ,DN≥300垂直 电源电压 标准出厂: AC220V/50Hz 特殊指定: AC110V ;DC24V;DC12V 等 信号反馈 标准出厂:不带反馈信号 特殊指