全球制程控制测量系统设备领导厂商Therma-Wace公司日前宣布，全球性领先的半导体及FPD生产设备制造商东电半导体(ToKyo Electron)再次下单订购多套Therma-Wave集成化测量工具。Therma-Wave的高级INTEGRA^R CCD-i关键尺寸(CD)测量工具将配合TEL CLEAN TRACK ACT^TM与CLEAN TRACK^TMLITHIUS^TM涂装／显影机使用，进行90nm与65nm技术的深度开发与生产。
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