纯水系统工艺流程简图 SMB系统 超纯水增压泵 去105用 氮封水箱EDI膜堆 回 清 洗 水 箱 氮 气 SMB 回 微 滤 RO2水箱 RO2系统 回 原 水 箱 EDI增压泵 回 RO1 水 箱 RO 加 药 二级高压泵 盘式过滤 器 超滤器 清 洗 进 水 反 洗 进 水 反 洗 排 水 清 洗 回 水 原水箱 RO2浓水 RO1/RO2开机回水 原水 阻 垢 剂 还 原 剂 原水泵 板式换热器 清 洗 排 水 压 缩 空 气 去 RO1 水 箱 简图 加 药 清浚入口一级高压泵 超滤反洗入口 膜 滤 器 去103用水点 去106用水点 105用水点 RO1水箱 RO1系统 回 原 水 箱 清 洗 回 水 加 药 补 水 EDI回流 高压泵 超滤水箱 超滤反洗泵 清 洗 回 水 排 放
超纯水系统工艺及其施工 半 导体技术天地 i i \'m$t g v(I . 半导体技术天地 %m Q4A&W G o!h N v E 一、 超纯水系统总体介绍 半导体 ,芯片 ,集成电路 ,设计 ,版图 ,晶圆 ,制造 ,工艺 ,制程 ,封装 ,测 试 ,wafer,chip,ic,design,eda,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA, photo,etch,implant,diffustion,lithography,fab,fabl 随着电子工业的发展，在芯片的生产加工过程中，对于水质的要求也越来越高。为了保 证生产出超大规模的集成电路，除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外，高纯水也是 其中最关键的因素之一。高纯水系统是将一般的市政用水处理成对不同离子的含量和颗粒 度都有很高要求的超纯水。 超纯水系统总体来说一
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