造价通
更新时间:2025.02.15
炉管工艺

格式:pdf

大小:1.8MB

页数: 16页

炉管工艺 引言 IC 行业所用的炉管目前主要是垂直式的(水平式的已经很少用了) ,按使用 压力不同分为常压炉管和低压炉管。常压炉管主要用于热氧化制程,热退火, BPSG热回流,热烘烤,合金等诸方面。 低压炉管则主要用于 LPCVD 沉积工艺, 包括多晶硅的形成,氮化硅的形成, HTO 和 TEOS等;HTO 和 TEOS都是用来 生成二氧化硅的。本篇主要介绍炉管的基本知识及有关工艺。 §1. 常压炉管工艺 硅表面上总是覆盖着一层二氧化硅,即使是刚刚解理的硅,在室温下,只要 在空气中一暴露就会在表面上形成几个原子层的氧化膜。 当我们把硅晶片暴露在 高温且含氧的环境里一段时间之后, 硅晶片的表面会生长 (grow)一层与硅附着 性良好,且具有高度稳定的化学性和电绝缘性的二氧化硅—— SiO2。正因为二氧 化硅具有这样好的性质,它在硅半导体元件中的应用非常广泛。 根据不同的需要, 二氧化硅被用于

衬塑钢管与涂塑钢管的区别

格式:pdf

大小:9KB

页数: 6页

衬塑钢管与涂塑钢管的区别 产 品 篇 一、 定义、分类和术语 1、衬塑钢管 1.1 定义:衬塑钢管是以钢管为基管,内外表面经过处理,外镀锌加 烤漆或喷漆,内衬聚乙烯塑料或其他内衬防腐层的钢塑复合产品。 1.2 分类:衬塑钢管分冷水衬塑钢管、 热水衬塑钢管、 滚塑衬塑钢管。 1.3 内衬塑料:聚乙烯( PE)、耐热聚乙烯( PE-RT)、交联聚乙烯 (PE-X)、聚丙烯( PP-R)硬聚氯乙烯( PVC-U)、氯化聚氯乙烯 (PVC-C)。 2、涂塑钢管 2.1 定义:涂塑钢管是以钢管为基管,以塑料粉末为涂层材料,在其 内、外表面熔融涂覆上一层塑料层, 或其他材料防腐层的钢塑复合产 品。 2.2 分类:涂塑钢管根据涂层材料的不同分为聚乙烯涂层钢管和环氧 树脂涂层钢管。 2.3 涂塑材料:聚乙烯粉末和环氧树脂粉末。 二、产品标示 1、衬塑钢管 1.1 冷水用衬塑钢管代号 SP-C 1.2 热

专题概述
插塑钢炉管相关专题

分类检索: