超纯水系统 1 超纯水系统 设 计 方 案 目 录 一、设计条件及出水水质 3 超纯水系统 2 二、设计基本资料 4 三、主要组件设备说明 5 四、工艺方案流程及说明 11 五、调试及售后服务内容 12 一、设计条件及出水水质 1.1 进水主要水质指标：东莞市自来水 1.2 用户对出水要求： 出水量：超纯水 9 吨/小时 出水水质：主机系统超纯水：电阻率≥ 18MΩ.㎝@25℃； 出水温度：常温。 1.3 水质检测：随机自带有电导率仪，出水电导率在线显示。 超纯水系统 3 1.4 设备最终产
超纯水系统工艺及其施工 半 导体技术天地 i i \'m$t g v(I . 半导体技术天地 %m Q4A&W G o!h N v E 一、 超纯水系统总体介绍 半导体 ,芯片 ,集成电路 ,设计 ,版图 ,晶圆 ,制造 ,工艺 ,制程 ,封装 ,测 试 ,wafer,chip,ic,design,eda,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA, photo,etch,implant,diffustion,lithography,fab,fabl 随着电子工业的发展，在芯片的生产加工过程中，对于水质的要求也越来越高。为了保 证生产出超大规模的集成电路，除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外，高纯水也是 其中最关键的因素之一。高纯水系统是将一般的市政用水处理成对不同离子的含量和颗粒 度都有很高要求的超纯水。 超纯水系统总体来说一
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