多晶硅生产中废气的处理方法主要有水洗法、焚烧法和碱液淋洗法.水洗法是多晶硅厂最传统的废气处理方法,是通过大量的喷淋水吸收废气中氯化氢和氯硅烷,该方法资源浪费量巨大,同时存在重大的安全隐患,现在已基本不使用.焚烧法是将废气进行高温燃烧和水解,得到二氧化硅和盐酸,该方法因前期投资过大、设备要求过高、工艺复杂、运行成本高等原因,其应用受到限制.碱液淋洗法因其工艺简单、投资和运行成本较低、处理效果好等优点,成为目前多晶硅厂最常用的废气处理方法.
随着太阳能发电技术及半导体技术的不断发展,当前多晶硅的应用范围愈加广泛,多晶硅产量也在逐年提升。但是当前多晶硅生产大多采用西门子生产工艺,该工艺伴随有大量的废气排放,而现有的废气处理工艺的处理效果并不尽如人意,这也限制了多晶硅行业的发展。近年来技术人员结合多晶硅生产废气特性对废气处理工艺进行了改造并取得了较好的效果。
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