玻 璃 镀 膜 工 艺 规 程 RDBL/WJ-7.5.1-11 1. 概述 : 本规程对镀膜玻璃的工艺控制做了具体的规定 , 以确保镀膜玻璃生产的精确控制 , 保证产品的质量 ; 2. 适用范围 : 适用于镀膜玻璃的工艺控制 ; 3. 职责 : 微机岗工艺控制员主要负责 , 生产技术科（工艺主管）监督执行 ; 4. 具体操作与规则 : 4.1 溅射室抽真空至 4×10-5mbar 以下 , 抽气时间不能少于 8小时 ; 4.2 根据靶材寿命合理安排生产批量和换靶周期 , 但必须保证在靶材溅痕最深处剩余 3mm前 换靶 , 如有临时性大批量生产任务 ,可根据批量调整换靶周期 ; 4.3 检查设备各部分是否全部正常 , 包括 : a 真空泵系统 : 运转情况、油位、油质、泵温； b 阴极冷却水系统：运转情况、水温、水压，要求水压
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