采用磁控溅射法制备CdZnTe先驱薄膜/金属Al膜的层叠结构,利用铝诱导技术制备CdZnTe薄膜。通过原子力显微镜、X射线衍射、Raman光谱仪和半导体特性分析系统,研究了铝膜溅射功率对铝诱导CdZnTe薄膜结构及性能的影响。结果表明:随着铝膜溅射功率的增加,铝诱导CdZnTe薄膜表面的薄膜结晶质量、晶粒尺寸和薄膜电阻率先增大后减小。铝诱导晶化的效果与铝膜溅射功率有关,当铝膜溅射功率达到100 W,CdZnTe薄膜的晶化诱导效果最显著,薄膜结晶质量最好,晶粒尺寸最大。
高形状精度要求与形状易变性之间的矛盾是限制大尺寸空间薄膜结构空间应用的主要技术瓶颈之一。本文主要从技术层面论述大尺寸空间薄膜结构形状保持和振动抑制的方法。首先,阐述薄膜结构形状误差源及形状控制必要性分析;然后,论述国内外空间薄膜结构形状控制的研究现状,包括控制方案、传感器及执行器;最后,提出大尺寸空间薄膜结构形状控制的关键技术。
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