针对磁场同步跟随式磁悬浮微驱动器,构建了新型的集驱动、测量和控制于一体的磁悬浮微驱动器定位系统。设计了一套以DSP为核心的硬件控制板的运行软件。采用LabVIEW软件实现了上位机的数据采集、显示、分析及保存等功能。以(1.231,1.227)mm、(1.529,1.516)mm两点为目标进行了定位实验。实验结果证明这种定位控制系统的误差在0.001~0.009 mm之间,该定位控制系统具有较好的控制精度。
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